СЭМ-рентгеновский анализ
-
История и развитие SEM-XRF
- SEM-XRF — это добавление рентгеновского генератора к сканирующему электронному микроскопу (SEM).
- Технический прогресс в области рентгеновских трубок и оптики позволил разработать компактные микрофокусные источники рентгеновского излучения.
- В 1986 году Сандия и Ливерморская национальная лаборатория Лоуренса опубликовали статью о параметрах рентгеновской микрофлуоресценции.
- В 1988 году Cross & Wherry описали рентгеновский микрофлуоресцентный анализатор.
- В 1991 году Позсгаи опубликовал обзорную статью о возможностях рентгеновского микрофлуоресцентного анализа в контексте SEM.
-
Коммерциализация и применение
- SEM-XRF был впервые коммерциализирован компанией IXRF Systems в 2005 году.
- В 2013 году за ним последовала корпорация Bruker.
- SEM-XRF используется для количественного и качественного анализа микроэлементов и объемного анализа.
- Метод позволяет анализировать основные элементы и микроэлементы с низким и высоким атомными номерами.
-
Преимущества и ограничения
- SEM-XRF позволяет проводить измерения состава, толщины и микроструктуры материалов за несколько секунд.
- Метод имеет ограниченное пространственное разрешение, но позволяет получать количественную или качественную информацию о микроструктуре.
- Метод требует преобразования электронно-оптической колонки в просвечивающую рентгеновскую трубку или использования микрофокусирующих рентгеновских трубок.
-
Рекомендации и внешние ссылки
- В статье представлены рекомендации по использованию SEM-XRF и ссылки на внешние ресурсы.
- Приведены примеры исследований и публикаций, посвященных SEM-XRF.