Подготовка данных маски

• Подготовка данных о маске (MDP)

  • MDP преобразует макет интегральной схемы в инструкции для создания физической маски. 
  • Изменения в компоновке чипа улучшают технологичность и позволяют создавать маски. 

• Процесс MDP

  • Включает обработку чипа, создание прицельной сетки и подготовку макета к маскировке. 
  • Использует технологии повышения разрешения для улучшения качества маски. 
  • Требует смягчения проблем с большими объемами данных. 

• Разрушение маски

  • Преобразование сложных многоугольников в простые формы для обработки аппаратными средствами. 
  • Термин «разрушение» часто используется неправильно, но «перелом» точнее описывает процесс. 

• Финальная прицельная сетка

  • Матрицы повторяются в виде матрицы на конечной сетке для последующего разделения после изготовления чипа. 
  • Размер матрицы зависит от размера сетки фотолитографического инструмента. 

• Рекомендации и источники

  • Ссылки на книги для дальнейшего чтения по теме MDP.