Вторичные электроны
-
Вторичные электроны
- Образуются в результате ионизации
- Генерируются первичным излучением (ионами, электронами или фотонами)
- Фотоэлектроны являются примером вторичных электронов
-
Приложения
- Используются в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ)
- Диапазон распространения зависит от энергии
- Построение неупругой средней длины свободного пробега показывает «универсальную кривую»
-
Характеристики
- Расстояние составляет несколько нанометров в металлах и десятки нанометров в изоляторах
- Высокое разрешение в СЭМ достигается благодаря небольшому расстоянию
- Для SiO2 при энергии 100 эВ диапазон распространения до 20 нм
-
Дополнительные сведения
- Дельта-луч
- Детектор Эверхарта-Торнли