Просвечивающая электронная микроскопия с фильтром энергии
-
Принцип просвечивающей электронной микроскопии с энергетической фильтрацией (EFTEM)
- Используется для формирования изображений или дифракционных картин с помощью электронов с определенной кинетической энергией
- Применяется для химического анализа образцов в сочетании с электронной кристаллографией
-
Взаимодействие электронов с образцом
- Электроны высокой энергии проходят через образец, взаимодействуя с ним упруго или неупруго
- Неупругое рассеяние приводит к потере энергии и изменению импульса
-
Формирование спектров и изображений
- Электронный пучок проходит через магнитную призму, изменяя траекторию электронов в зависимости от их энергии
- Регулируемая щель позволяет пропускать только электроны с определенным диапазоном энергий
- Энергетическая щель предотвращает влияние неупругого рассеяния на изображение
-
Методы анализа
- Метод коэффициента скачка: изображение делится на изображение, записанное перед энергией ионизации
- Перекрестная корреляция изображений для компенсации дрейфа выборки
- Серия изображений позволяет проводить количественный анализ и составлять карты элементов
-
Дополнительные возможности
- Извлечение профиля УГРЯ по определенным признакам
- Улучшенные карты элементов для количественного анализа и повышения точности