Анодное соединение
-
Основы склеивания кремниевых пластин
- Кремниевые пластины склеиваются с помощью электростатического поля и диффузии ионов.
- Процесс склеивания включает нагрев и соединение при определенных температурах и напряжениях.
- Склеивание происходит при температурах от 200 до 500 °C, с использованием тонких слоев стекла для снижения напряжений.
-
Электростатическое склеивание
- Пластины помещаются между зажимным патроном и инструментом, образуя электростатическое поле.
- Ионы натрия в стекле диффундируют к катоду, образуя NaOH.
- На границе соединения образуется область с высоким импедансом, что способствует склеиванию.
-
Охлаждение и герметизация
- После склеивания требуется медленное охлаждение с продувкой инертным газом.
- Время охлаждения зависит от разницы в коэффициентах теплового расширения склеиваемых материалов.
-
Технические характеристики и рекомендации
- Процесс обеспечивает стабильные и герметичные соединения при различных температурах и напряжениях.
- Ограничения для склеиваемых материалов включают разницу в коэффициентах теплового расширения и требования к поверхности кремния.
-
Рекомендации по использованию
- Процесс позволяет создавать соединения при низких температурах и с ограниченной разницей в коэффициентах теплового расширения.
- Интеграция процесса в производственный процесс упрощает процесс склеивания.
Полный текст статьи: