Литография без масок
-
Основы безмасковой литографии
- Безмасковая литография — это метод литографии, который позволяет создавать изображения без использования масок.
- Этот метод включает в себя прямое нанесение изображения на фоторезист с помощью различных технологий, таких как электронно-лучевая, оптическая и другие.
-
Преимущества безмасковой литографии
- Высокая скорость параллельной обработки шаблонов благодаря большим вычислительным мощностям.
- Возможность изменения шаблонов от тиража к тиражу без создания новых фотошаблонов.
-
Недостатки безмасковой литографии
- Сложность и затраты на процесс репликации.
- Ограниченная растеризация и артефакты сглаживания при использовании структур меньшего размера.
- Узкое место в пропускной способности для работы с высоким разрешением.
-
Формы безмасковой литографии
- Электронно-лучевая и оптическая литография являются основными формами.
- Системы с сфокусированным ионным пучком и прямая лазерная печать также используются.
-
Развитие и исследования
- Технологии безмасковой литографии используются для изготовления фотошаблонов и ограниченного производства пластин.
- Существуют препятствия для внедрения в крупносерийное производство, включая разнообразие техник и необходимость достижения высокой производительности.
-
Экономические аспекты
- В 2018 году Mapper Lithography обанкротилась, но была приобретена ASML Holding.
- Литейный цех Mapper расположен в России и управлялся Mapper LLC.
-
Рекомендации
- Ссылки на 35-ю Европейскую конференцию по маске и литографии (EMLC 2019) для получения дополнительной информации.
Полный текст статьи: