Оглавление
Детекторы для просвечивающей электронной микроскопии
-
Традиционные методы обнаружения
- Флуоресцентный смотровой экран из ZnS или ZnS/CdS
- Фотопленка для записи изображений
-
ПЗС-камеры
- Впервые применены в 1980-х годах
- Используют сцинтиллятор для преобразования электронов в фотоны
- Оснащены охлаждающим устройством Пельтье для снижения температуры
-
КМОП-камеры
- Коммерчески доступны с 2006 года
- Менее подвержены помутнению и имеют более высокую скорость считывания
-
Детекторы прямых электронов
- Не используют сцинтиллятор, обеспечивают более высокий DQE
- Гибридный пиксельный детектор (PAD) с пикселями 150 x 150 x 500 мкм
- Монолитный активный пиксельный датчик (MAPS) с пикселями 6,5 x 6,5 мкм
-
Детекторы для сканирования TEM (STEM)
- Используются для регистрации сигнала в каждой позиции зонда
- Включают кольцевой детектор темного поля (ADF) и сегментированные стволовые детекторы
- 4D STEM использует гибридные детекторы прямых электронов pixel или MAPS для записи всей картины дифракции электронов