Контрастная визуализация с использованием электронных каналов
-
Метод ECCI
- Электронно-канальная контрастная визуализация (ECCI) используется для изучения дефектов в материалах.
- Метод основан на дифракции электронного пучка на дефектах, что приводит к контрасту на микрофотографиях.
-
История и развитие
- ECCI был предложен для быстрого и неразрушающего определения характеристик.
- Метод развивался с 1980-х годов, но стал доступен для пользователей СЭМ только в 2000-х.
- Уилкинсон использовал ECCI для исследования дислокаций на глубине более 1 мкм.
-
Применение и геометрия
- ECCI используется для изучения дислокаций, дефектов укладки, границ зерен и атомарных ступеней.
- Для металлов используется геометрия с небольшим наклоном, что обеспечивает высокое пространственное разрешение.
- Для полупроводников используется геометрия с сильным наклоном, что позволяет различать отдельные дислокации.
-
Стандартизация и вариации
- ECCI не поддавался стандартизации, что приводило к различным методам у разных групп.
- Гутьеррес-Уррутиа и др. ввели термин «контролируемый ECCI» для ECCI с низким наклоном.
- Мансур и соавторы использовали ECCI с низким наклоном и узорами каналов для характеристики дислокаций в кремниевой стали.