Электронно-контрастная визуализация

Контрастная визуализация с использованием электронных каналов Метод ECCI Электронно-канальная контрастная визуализация (ECCI) используется для изучения дефектов в материалах.   Метод основан […]

Контрастная визуализация с использованием электронных каналов

  • Метод ECCI

    • Электронно-канальная контрастная визуализация (ECCI) используется для изучения дефектов в материалах.  
    • Метод основан на дифракции электронного пучка на дефектах, что приводит к контрасту на микрофотографиях.  
  • История и развитие

    • ECCI был предложен для быстрого и неразрушающего определения характеристик.  
    • Метод развивался с 1980-х годов, но стал доступен для пользователей СЭМ только в 2000-х.  
    • Уилкинсон использовал ECCI для исследования дислокаций на глубине более 1 мкм.  
  • Применение и геометрия

    • ECCI используется для изучения дислокаций, дефектов укладки, границ зерен и атомарных ступеней.  
    • Для металлов используется геометрия с небольшим наклоном, что обеспечивает высокое пространственное разрешение.  
    • Для полупроводников используется геометрия с сильным наклоном, что позволяет различать отдельные дислокации.  
  • Стандартизация и вариации

    • ECCI не поддавался стандартизации, что приводило к различным методам у разных групп.  
    • Гутьеррес-Уррутиа и др. ввели термин «контролируемый ECCI» для ECCI с низким наклоном.  
    • Мансур и соавторы использовали ECCI с низким наклоном и узорами каналов для характеристики дислокаций в кремниевой стали.  

Полный текст статьи:

Электронно-контрастная визуализация

Оставьте комментарий

Прокрутить вверх