Оглавление
Ионный пучок
-
Применение ионных пучков
- Ионные пучки используются в производстве электроники и других отраслях промышленности.
- Источники ионного излучения включают двигатели на парах ртути, разработанные НАСА в 1960-х годах.
-
Характеристики ионных пучков
- Плотность ионного тока измеряется в мА/см2, энергия ионов – в эВ.
- Ионные пучки состоят из однозарядных ионов.
-
Типы источников ионов
- Широколучевые источники ионов включают источники с сеткой и без сетки.
- Источники с сеткой используют электроны для генерации ионов и управляют их током.
- Бессеточные источники ионов генерируют ионы потоком электронов и управляют их током с помощью расхода газа.
-
Применение ионных пучков
- Ионно-лучевое травление и распыление используются для удаления мишеней и анализа материалов.
- Приборы с сфокусированным ионным пучком (FIB) применяются для анализа тонкопленочных устройств и проверки полупроводниковых приборов.
- В биологии ионные пучки используются для изучения механизмов коммуникации и повреждения ДНК.
- В космической промышленности ионные пучки применяются для передачи силы на объекты и удаления космического мусора.
-
Другие применения
- Ионные пучки высокой энергии используются в атомной физике и ядерной физике.
- Теоретически возможно использование ионных пучков в качестве оружия, но это не было продемонстрировано.