Стандарт ISO 14644
- ISO 14644 основан на Федеральном стандарте США 209E и стандартизирует классификацию и тестирование чистых помещений.
- Первый документ ISO 14644 был опубликован в 1999 году, а второй — в 2000 году.
- ISO 14644 состоит из 8 частей: классификация чистоты воздуха, технические требования к испытаниям и мониторингу, методы испытаний, проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию, операции, словарь, разделительные устройства и классификация молекулярного загрязнения воздуха.
- Часть 8 стандарта ISO 14644 описывает классификацию молекулярного загрязнения воздуха в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах.
- Часть 9 стандарта ISO 14644 описывает классификацию чистоты поверхностных частиц в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах.
Полный текст статьи: