МЭМС
-
Основы микроэлектромеханических систем (МЭМС)
- МЭМС — это технология, которая объединяет микроэлектронные и механические компоненты в одном устройстве.
- МЭМС используются в широком спектре приложений, включая датчики, микрофоны, акселерометры и гироскопы.
-
История и развитие МЭМС
- МЭМС были изобретены в 1960-х годах, но их массовое производство началось в 1970-х годах.
- Развитие МЭМС было ускорено благодаря появлению интегральных схем и микропроцессоров.
- В 1980-х годах были разработаны первые коммерческие MEMS-акселерометры.
-
Технология и производство МЭМС
- МЭМС состоят из микроскопических компонентов, которые могут быть изготовлены с использованием различных методов, включая фотолитографию и травление.
- Существуют два основных типа МЭМС: объемные и поверхностные, с различными методами производства и применениями.
-
Применение МЭМС
- МЭМС используются в различных областях, включая автомобильную, медицинскую, бытовую электронику и аэрокосмическую промышленность.
- Некоторые распространенные коммерческие приложения включают струйные принтеры, акселерометры в автомобилях и игровые контроллеры.
-
Отраслевая структура и рынок МЭМС
- Мировой рынок МЭМС в 2006 году оценивался в 40 миллиардов долларов и ожидается рост до 72 миллиардов долларов к 2011 году.
- Рынок материалов и оборудования для производства МЭМС превысил 1 миллиард долларов в 2006 году.
- МЭМС-технологии развиваются благодаря инвестициям как крупных, так и малых компаний в исследования и разработки.
- Пересказана только часть статьи. Для продолжения перейдите к чтению оригинала.
Полный текст статьи: