Микрооборудование
-
Определение и применение микромашин
- Микромашины — это механические устройства размером от 100 нанометров до 100 микрометров.
- Используются в акселерометрах для подушек безопасности и сложных системах зубчатых колес.
-
Методы изготовления
- Изготовление микромашин включает поверхностную и объемную микрообработку.
- Объемная микрообработка включает легирование бором и травление кремния.
-
Типы микромашин
- Большинство микромашин являются преобразователями, преобразующими информацию в электрические сигналы.
- Примеры датчиков включают резонансные химические датчики, которые реагируют на молекулы.
- Приводы преобразуют электрические сигналы в движение, существуют электростатические, тепловые и магнитные приводы.
-
Дополнительные сведения
- Упоминаются микроэлектромеханические системы, микрофабрика, наногитара и микросканер.
- Предоставлены ссылки на внешние ресурсы и галерею изображений.
-
Рекомендации
- Статья содержит ссылки на внешние ресурсы и галерею изображений.
Полный текст статьи: