Микротехнологии
-
Микротехнология и её развитие
- Микротехнология фокусируется на физических и химических процессах, а также на производстве структур размером в один микрометр.
- В 1970-х годах учёные создали микроэлектронные схемы, что привело к Информационной революции.
- Недавно учёные научились миниатюризировать механические устройства, что обещает те же преимущества, что и технология интегральных схем.
-
Микроэлектромеханические системы (MEMS)
- Термин MEMS был введён в 1980-х годах для описания сложных механических систем на кристалле.
- Сегодня MEMS используется для обозначения любого микроскопического устройства с механической функцией.
- В Европе предпочтение отдается термину MST, в Японии MEMS называют «микромашинами».
- MEMS-процессы подразделяются на несколько категорий, таких как поверхностная и объемная обработка.
-
Применение и влияние MEMS
- MEMS вызвала огромный интерес благодаря широкому спектру важных применений.
- MEMS уже оказали значительное влияние на автомобильные датчики и струйные принтеры.
- Ожидается, что MEMS-индустрия станет одной из крупнейших отраслей промышленности 21 века.
-
Методы и достижения микротехнологий
- Микротехнологии часто создаются с использованием фотолитографии.
- Самым известным достижением микротехнологий является создание интегральных схем.
- В 1980-х годах появились нанотехнологии как ответвление исследований, направленных на дальнейшую миниатюризацию микротехнологий.
-
Примеры микроскопических элементов
- Провода, резисторы, транзисторы, термоэлектронные клапаны, диоды, датчики, конденсаторы, электрические двигатели, шестерни, рычаги, подшипники, шарниры, клапаны, каналы, насосы, турбины.