Мягкая литография
-
Определение и применение мягкой литографии
- Мягкая литография использует эластомерные материалы, такие как PDMS, для создания объектов в масштабе от микрометра до нанометра.
- Применяется в биотехнологии, пластиковой электронике и на больших или неплоских поверхностях.
-
Преимущества мягкой литографии
- Более низкая стоимость по сравнению с фотолитографией при массовом производстве.
- Подходит для применения в биотехнологии и пластиковой электронике.
- Не требует фотореактивной поверхности для создания наноструктур.
- Более мелкие детали, чем при фотолитографии (~30 нм против ~100 нм).
- Разрешение зависит от используемой маски и может достигать 6 нм.
-
Типы мягкой литографии
- Штамп PDMS.
- Микроконтактная печать.
- Многослойная мягкая литография.
- Наносферная литография.
- Нанесение рисунка путем травления на наноуровне.
-
История и развитие
- С 1995 по 2005 год развитие мягкой литографии стремительно расширялось.
- Инструменты для мягкой литографии теперь доступны в продаже.