Травление (микрообработка)

• Определение и классификация травления

  • Травление – процесс удаления материала с поверхности. 
  • Различают химическое и физическое травление. 
  • Химическое травление включает использование кислот и щелочей. 
  • Физическое травление включает ионное травление и реактивно-ионное травление. 

• Применение травления в микроэлектронике

  • Травление используется для создания отверстий и контактных площадок в микросхемах. 
  • Ионное травление применяется для создания отверстий в кремнии. 
  • Реактивно-ионное травление используется для создания глубоких и узких деталей. 

• Типы и методы травления

  • Анизотропное травление предпочтительнее для получения четких изображений. 
  • Изотропное травление позволяет получать круглые боковые стенки. 
  • Существуют различные процессы травления, включая использование кислот и щелочей. 

• Рекомендации и форматирование

  • В статье приведены рекомендации по форматированию и использованию специальных символов. 
  • Ссылки на внешние источники также включены в статью.