Просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения
-
Просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения
- Позволяет визуализировать атомную структуру образцов
- Используется для изучения полупроводников, металлов, наночастиц и углерода
- Максимальное разрешение около 0,5 ангстрема
-
Формирование изображения
- Основано на фазовом контрасте
- Контраст не поддается интуитивной интерпретации из-за аберраций линз
- Аберрации влияют на фазу электронной волны
-
Взаимодействие электронов с образцом
- Электроны взаимодействуют с образцом, создавая дифракцию Брэгга
- Выходная волна электронов проходит через систему формирования изображения
-
Функция передачи фазового контраста
- Описывает влияние апертур и аберраций на фазу выходной волны
- Включает функции апертуры, огибающей и аберраций
-
Расфокусировка и её влияние
- Расфокусировка может повысить точность и интерпретируемость микрофотографий
- Функция огибающей определяет предел информации
-
Оптимальная расфокусировка
- Выбор оптимальной расфокусировки важен для полного использования возможностей микроскопа
- Расфокусировка Шерцера сглаживает функцию передачи контраста
- Оптимальная расфокусировка зависит от сферической аберрации и ускоряющего напряжения
-
Расфокусировка по Габору
- Используется в электронной голографии для минимизации перекрестных помех между амплитудой и фазой волны изображения
- Выражается как функция расфокусировки Шерцера
-
Легкая расфокусировка
- Метод реконструкции выходной волны для максимального использования всех лучей
- Включает математическое изменение функции передачи контраста для восстановления исходной выходной волны
-
Расфокусировка Лихте
- Предложена в 1991 году для увеличения пропускной способности информации
- Минимизирует модуль dx(u)/du
- Для CM300 с информационным пределом 0,8 Å расфокусировка составляет -272 нм
-
Реконструкция волны выхода
- Волна в плоскости изображения возвращается численно к образцу
- Для восстановления фазы и амплитуды электронной волны используются голография и метод сквозных фокусных рядов
-
Методы восстановления фазы
- Голография использует призму для разделения луча на опорный и проходящий через образец
- Метод сквозных фокусных рядов использует зависимость функции передачи контраста от фокуса
-
Идеальное значение расфокусировки
- Расфокусировка Лихте составляет несколько сотен нанометров с отрицательным значением
- Позволяет повысить точечное разрешение микроскопа до предела информативности