Сканирующая конфокальная электронная микроскопия
-
История и развитие SCEM
- Идея SCEM возникла из SCOM
- Практическое проектирование и конструирование SCEM было сложной задачей
- Нестор Дж. Залужек первым продемонстрировал трехмерные свойства SCEM
- В настоящее время несколько групп работают над созданием SCEM с атомарным разрешением
-
Принцип работы SCEM
- Образец освещается сфокусированным электронным лучом
- Луч перефокусируется на детектор, собирая только электроны, проходящие через фокус
- Для получения изображения луч сканируется в поперечном направлении
- В оригинальной конструкции использовались синхронные дефлекторы сканирования и десканирования
- Другой подход использует стационарное освещение и сбор данных, но сканирование выполняется перемещением образца
-
Преимущества SCEM
- Высокие энергии падающих частиц обеспечивают высокое пространственное разрешение
- SCEM обеспечивает трехмерное изображение, что подтверждено теоретическим моделированием
- Прогнозируется, что плотный слой может быть идентифицирован в легкой матрице с точностью до ~10 нм по глубине
- Разрешение по глубине ограничено углом схождения электронного пучка и может быть улучшено в будущих микроскопах
-
Смотрите также
- Конфокальная микроскопия
- Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия
- Электронная микроскопия
- Сканирующий электронный микроскоп
- Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия
- Просвечивающая электронная микроскопия