Оглавление
Углы обработки
-
Технологические углы в полупроводниковом производстве
- Технологические углы используются для планирования экспериментов в полупроводниковом производстве.
- Углы представляют собой крайние значения технологических параметров, при которых схема должна функционировать.
- Неработающая схема при любом из технологических углов указывает на недостаточный запас прочности.
-
Проверка надежности интегральных схем
- Производители полупроводников тестируют угловые партии пластин при различных условиях окружающей среды.
- Результаты тестов отображаются с помощью графика shmoo, который показывает граничные пределы работоспособности устройства.
-
Значение для цифровой электроники
- В микропроцессорах с СБИС технологические углы влияют на скорость переключения транзисторов и могут привести к сбоям.
- Отклонения в технологических параметрах могут быть вызваны изменениями влажности или температуры.
-
Типы технологических углов
- Углы FEOL влияют на производительность устройств, в то время как углы BEOL влияют на паразитные свойства.
- Существуют три угла FEOL: обычный, быстрый и медленный, а также пять углов BEOL: типичный-типичный, быстрый-быстрый, медленный-медленный, быстрый-медленный и медленно-быстрый.
- Четные углы (TT, FF, SS) обычно не оказывают негативного влияния на логическую корректность схемы, в то время как “перекошенные” углы (FS, SF) могут вызывать сбои.
-
Инструменты для учета углов
- Современные технологии используют имитационные модели для обнаружения перекосов углов до разработки проекта.
-
Рекомендации
- В статье приведены ссылки на патент США, связанный с методикой моделирования углов.
Полный текст статьи: