Метод Ван дер Пау
- Метод Ван дер Пау используется для измерения удельного сопротивления и коэффициента Холла образца.
- Метод Ван дер Пау позволяет точно измерять свойства образца, если он является двумерным, сплошным и имеет электроды по периметру.
- Метод Ван дер Пау использует четырехточечный датчик для измерения среднего удельного сопротивления образца.
- Метод Ван дер Пау может быть применен к анизотропным материалам с использованием метода Монтгомери.
- Измерения включают определение удельного сопротивления, типа допинга, плотности носителей на листе основного носителя и уровня легирования.
- Метод Ван дер Пау требует выполнения пяти условий для использования: плоская форма, отсутствие изолированных отверстий, однородность, изотропность, контакты расположены по краям образца.
- Подготовка образцов включает уменьшение толщины образца, обеспечение симметричности и отсутствие изолированных отверстий.
- Измерение удельного сопротивления включает пропускание тока по одному краю образца и измерение напряжения на противоположном краю.
Полный текст статьи: