Оптическая коррекция приближения
-
Основы оптической коррекции изображений
- Оптическая коррекция изображений (OPC) используется для исправления дефектов в изображениях, таких как блики и тени.
- OPC применяется в различных областях, включая микроэлектронику, оптику и печать.
-
История и развитие OPC
- OPC была впервые использована в 1970-х годах для коррекции изображений в микроэлектронике.
- С развитием технологий и увеличением плотности элементов на печатных платах, OPC стала более важной.
- В последние годы OPC стала использоваться для коррекции изображений в наноэлектронике.
-
Методы OPC
- Существуют различные методы OPC, включая фазовую коррекцию, коррекцию бликов и коррекцию тени.
- Фазовая коррекция основана на изменении фазы света, чтобы компенсировать дефекты изображения.
- Коррекция бликов и тени использует различные подходы для удаления бликов и теней соответственно.
-
Применение OPC в современных технологиях
- OPC широко используется в современных технологиях, таких как микроэлектроника и наноэлектроника.
- OPC позволяет создавать высококачественные изображения с высокой плотностью элементов.
-
Проблемы и решения OPC
- С увеличением плотности элементов на печатных платах возникают проблемы с бликами и тенями.
- OPC решает эти проблемы, обеспечивая высокое качество изображения.
-
Будущее OPC
- Ожидается, что OPC будет играть ключевую роль в будущих поколениях технологий, где требуется высокая плотность элементов.
- OPC будет использоваться для коррекции изображений с более сложными геометрическими формами и размерами.
-
Использование OPC в современных пакетах автоматизации
- OPC редко используется без коммерческих пакетов автоматизации электронного проектирования.
- Алгоритмы и методы моделирования позволяют корректировать сложные структуры за одну ночь.
-
Вспомогательные функции с пониженным разрешением (SRAF)
- SRAF используются для улучшения фокусировки и уменьшения искажений при печати.
- SRAF могут быть ограничены в применении и не всегда обеспечивают полное решение проблемы.
Полный текст статьи: