Оглавление
Стигматор
-
История и причины астигматизма
- Астигматизм был основным фактором, ограничивающим производительность ранних электронных микроскопов.
- Источниками астигматизма были смещенные объективы, неоднородные магнитные поля линз, линзы не идеальной круглой формы и загрязнение апертуры объектива.
-
Коррекция стигматизации
- Стигматоры создают слабое электрическое или магнитное поле, перпендикулярное лучу.
- Регулируя величину и азимут поля, можно компенсировать асимметричную астигматизацию.
- Стигматоры создают слабые поля по сравнению с электромагнитными линзами.
-
Типы стигматизаторов
- Магнитные стигматоры состоят из металлических стержней, создающих магнитное поле.
- Электромагнитные стигматоры встроены в линзы и деформируют магнитное поле линз.
- Автоматические стигматоры используют преобразование изображения в Фурье для определения идеальной настройки.
-
Множественные системы стигматизации
- ТЭМ обычно содержат три стигматора: для исходного луча, изображений в реальном пространстве и дифракционных картин.
- Для уменьшения линейных искажений предлагается использовать три стигматора после выборки.